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高溫環境下適用的4個類別的高溫振動傳感器

發布時間:2024-11-20點擊次數:659

在高溫環境下,選擇合適的振動傳感器需要考慮多個因素,包括傳感器的工作溫度范圍、材料的耐高溫性能、結構設計的優化以及降低熱噪聲的措施。根據提供的信息,以下是一些適合高溫環境的振動傳感器類型及其特點:


?新型高溫振動傳感器?:一款專門為高溫測試環境設計的產品,工作溫度可達500C,采用特殊耐高溫壓電材料和金屬殼體,具有超低靈敏度溫度系數和低溫漂特性,以及方便的三角結構和差分結構設計?。


?MEMS陀螺儀?:MEMS陀螺儀因其小巧、低功耗和低成本的特點,在高溫環境下具有一定的應用潛力。然而,目前尚不能滿足在175C高溫條件下運行的需求?。


?多晶硅高溫壓力傳感器?:這類傳感器一般可用于200C以內的環境。它們采用多晶硅作為材料,通過特定的制備工藝實現電隔離,但存在熱應力和高溫漏電流增大的問題?。


?SOI高溫壓力傳感器?:SOI高溫壓力傳感器具有耐高溫特性,通過埋氧層隔絕壓敏電阻和硅襯底,避免了P-N結漏電問題。與多晶硅高溫壓力傳感器相比,SOI襯底的漏電流更低,更適合研制高溫傳感器,但存在敏感壓阻層與襯底之間的鍵合方式、熱應力和高溫漏電流增大等限制?。

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